Silicon Sensing提供高精度MEMS陀螺仪、加速度仪等惯性测试仪以及压电薄膜(PZT)成膜、Si深层刻蚀等代工服务。

DMU11

2016年10月10日

正在准备技术样品

DMU10 Aモデル


Silicon Sensing开始了6轴惯性计测装置DMU10的小型批量生产型DMU11。
现在正准备技术模型。有兴趣者请通过这个页面联系我们
DMU11除了输出3轴陀螺仪(角速度仪)和3轴加速度仪的参数外,也有自我诊断信息、角速度/加速度变量的信息输出,接口是RS422形式,用起来很方便。

DMU11使用的角速度仪是采用了Silicon Sensing固有技术环形谐振器制造的名为VSG5的抗震动耐冲击的优质MEMS。
另外,加速度仪采用了静电容量型加速度仪。6个MEMS两两装在了3个轴上,由此大大提高了精度,降低了噪音。

下面是陀螺仪及加速度仪的阿伦方差值性能特性曲线

DMU10 AモデルDMU10 Aモデル


DMU11规格的详细内容、请参阅DMU11的网页