Si深层刻蚀（DRIE）服务Si深层刻蚀（DRIE）服务要找住友精密集团的Silicon Sensing。公司前身的住友精密是世界上第一个开发销售博世工艺DRIE装置的公司。在日本以SPT品牌名提供刻蚀装置。
多年的批量生产经验以及受100多个公司委托生产Si深层刻蚀(DRIE)的业绩，使Silicon Sensing拥有了丰富的生产工序及生产经验。另外,在制作MEMS制动器时、实现了对一直以来人们担心的机械强度问题的改善非常有效的不到100nm的低扇形的加工。
DRIE装置
ASE-Pegasus是博世工艺最高级别的装置。在不失垂直刻蚀、粗侧壁、CD损失同时、实现了世界上最高的高选择比和高刻蚀速率。
SR是日本国内的很多研究机构都使用的类型。在大学呀研究机构所做的试验工序是否能延续方面有优势。
ASE-PEGASUS 4~8英寸
STS HRM 4英寸
STS SR 小于4英寸
