石英基板 PZT成膜服务Silicon Sensing不仅是Si晶片、也开始了至今为止已有很多客户提出需求的石英基板的PZT成膜服务。
| 规格 | 压电膜 | PZT薄膜 |
| PZT膜厚 | 1~2μm (标准2μm) | |
| 相对介电常数εr | 1100 ※本公司代表值(6英寸基板) | |
| 圧電特性d31 | 190pm/V ※本公司代表值(6英寸基板) | |
| 膜応力 | 120MPa ※本公司代表值(6英寸基板) | |
| 晶片尺寸 | 4・5・6英寸 | |
| 基板 | 石英基板 ※基板厚度：625um | |
| 可加工的工序 | PZT成膜、下部电极成膜、上部电极成膜 |
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■MEMS装置应用实例
RF-MEMS・显微镜
