Silicon Sensing提供的服务项目中关于PZT成膜或Si刻蚀加工的介绍。
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玻璃晶片刻蚀加工服务
Silicon Sensing用干法刻蚀实现了湿法刻蚀很难实现的垂直微刻蚀。
规格
加工对象
石英、耐热玻璃、Pyrex等
加工晶片尺寸
4~6英寸
深度
1um以上
L/S
3um
形状
垂直形状(80°以上)
※关于形状有可能依所使用的玻璃不同而有所变化。
*本站的服务项目总括一律以(foundry)服务项目为统一名称。
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