Silicon Sensing提供的服务项目中关于PZT成膜或Si刻蚀加工的介绍。

玻璃晶片刻蚀加工服务

Silicon Sensing用干法刻蚀实现了湿法刻蚀很难实现的垂直微刻蚀。

规格 加工对象 石英、耐热玻璃、Pyrex等
加工晶片尺寸 4~6英寸
深度 1um以上
L/S 3um
形状 垂直形状(80°以上)
※关于形状有可能依所使用的玻璃不同而有所变化。
*本站的服务项目总括一律以(foundry)服务项目为统一名称。