MEMS系列产品服务
Silicon Sensing以15年以来MEMS陀螺仪的生产业绩（累计生产了3000多万个）承接客户MEMS开发・生产委托业务。
装置 Picosun P-300B Advanced ALD
晶圆尺寸：6-8吋
薄膜材料・Al2O3 , HfO2
・Ta2O5 ,TiO2 , SiO2 , ZnO（准备中）
如果是需要深层加工请找住友精密集团公司的Silicon Sensing。Silicon Sensing有各种DRIE装置的详细资料。
Silicon Sensing为了提高用于陀螺仪（CRM/CMS系列）的PZT膜的性能、对用于上下电极的白金膜进行了开发研究。我们将把最佳成膜环境下制成的白金膜提供给广大客户。
