Silicon Sensing提供的服务项目中关于PZT成膜或Si刻蚀加工的介绍。

压电膜测量服务

Silicon Sensing有测试压电膜特性的专用测试仪,操作非常简单。您如果将Si和压电成膜后的晶片提供给我们,我们将为您制作悬臂。如下图所示,用激光多普勒振动仪即可测量出受震悬臂的移位量。另外,要是制作本公司标准规格的悬臂,可以算出压电系数d31。



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