실리콘센싱은 Si웨어퍼 뿐 아니라, 이제까지 다양한 고객으로부터 요청이 있었던 석영기판의 PZT 성막 서비스를 시작하였습니다.
사양 | 압전막류 | PZT 박막 |
PZT막 두께 | 1~2μm (표준2μm) | |
비유전율εr | 1100 ※자사 대표값(6인치 기판) | |
압전특성d31 | 190pm/V ※자사 대표값(6인치 기판) | |
막 응력 | 120MPa ※자사 대표값(6인치 기판) | |
웨이퍼 사이즈 | 4・5・6인치 | |
기판 | 석영기판 ※기판두께:625㎛ | |
처리가능 프로세스 | PZT 성막, 하부전극성박, 상부전극성막 |
■MEMS 디바이스 응용사례
RF-MEMS・마이크로 렌즈 배열