MEMS 파운드리서비스
실리콘센싱은 15년간 자사의 MEMS 자이로 센서 생산실적(누계 3000만개 이상)을 바탕으로 고객의 요구에 맞는 MEMS를 개발, 수탁생산하고 있습니다.
실리콘센싱은 자사의 자이로 CRM/CMS(VSG-5)로 2010년부터 양산실적이 있는 PZT 성막 및 에칭을 파운드리 사업을 통해 제공하고 있습니다.
설비 Picosun제 P-300B Advanced ALD
웨이퍼 사이즈：6‐8인치
성막 종류 ・Al2O3 , HfO2
・Ta2O5 ,TiO2 , SiO2 , ZnO (준비중）
심굴가공은 스미토모정밀(住友精密)그룹의 실리콘센싱에 맡겨 주십시오. 실리콘센싱은 각종 DRIE 장치군과 프로세스 매뉴얼을 다양하게 보유하고 있습니다.
실리콘센싱은 자사의 자이로(CRM/CMS시리즈)에 사용하는 PZT막의 특성향상을 목적으로, 상하전극에 사용하는 백금막 개발에 노력해왔습니다. 최적화된 성막조건으로 얻어낸 백금막을 저항체로 사용하시는 고객께 제공하고 있습니다.
