シリコンセンシングが提供するファンドリサービスの中でPZT成膜やSiエッチング加工についてご紹介します。

圧電膜測定サービス

シリコンセンシングでは、専用治具を用い、簡易的に圧電膜特性の測定を行っております。Si及びガラス基板上に圧電薄膜を成膜済のウエハを御支給頂ければ、パターニング・カンチレバーを作製し、下図のようにレーザードップラー振動計を用い、振動させたカンチレバーの変位量を測定致します。なおSi基板且つ、弊社標準のカンチレバーを作製頂ければ、圧電定数d31を算出致します。    ※SSP推奨のカンチレバー寸法については、お問い合わせください。



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