シリコンセンシングが提供するファンドリサービスの中でPZT成膜やSiエッチング加工についてご紹介します。

Pt抵抗センサー加工サービス

シリコンセンシングは自社ジャイロ(CRM/CMSシリーズ)に使用するPZT膜の特性向上を目的とし、上下電極に使用する白金膜の開発に取り組んでまいりました。最適化された成膜条件により得られた白金膜を、抵抗体として使われるお客様に提供いたします。またSiウェットエッチングとの組み合わせにより、白金抵抗体のメンブレン構造の形成が可能です。ご要望により低応力絶縁膜の成膜・パターニングも承ります。シリコンセンシングは白金抵抗素子、フローセンサー、ガスセンサー等の開発、生産を検討されているお客様に最適なサービスを提供いたします。



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