シリコンセンシングは高精度MEMSジャイロや加速度等の慣性センサ及びPZTスパッタ成膜やSiエッチング加工によるファンドリサービスを提供しています。

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ジャイロセンサ



加速度センサ

【CAS290 仕様書】


技術資料