シリコンセンシングが提供するMEMSジャイロスコープの製品紹介です。

MEMSジャイロスコープ

シリコンセンシングは、さまざまなアプリケーションに適した機能・性能を持ったMEMS(Micro Electro Mechanical System)式のジャイロスコープ(角速度センサ 以下MEMSジャイロとする)、およびモジュール製品を生産しています。また、これら慣性センサに対する専門技術サポートも行なっています。

シリコンセンシングが製造するMEMSジャイロは一貫してリング型共振子を採用しています。

一般的にMEMSジャイロは振動型によるコリオリ力の検出を行います。振動型ジャイロで角速度を得るためには1次振動を作り出し、角速度が加わった時に発生する2次振動量を出力に変換していますが、リング型共振子は、センサの外部で大きな衝撃や振動が発生していても、その影響を最小限に押さえて、角速度のみを分離して出力できる特徴を持ちます。
そのため、衝撃・振動に強いGyroセンサとして使用していただいています。また、シリコンセンシングのジャイロスコープは一般的なMEMSジャイロに対して、高精度用途での活用に強みがあります。

MEMSジャイロの選択については「ジャイロを探す」もしくは、「ジャイロ一覧表」から選択いただけます。

測定範囲

ゼロ点温度変動

バイアスインスタビリティ

静止ノイズ

消費電力

外形寸法

オプション

インターフェイス

CRH02

±25,±100 (°/s)
―――――――
±200,±400 (°/s)

±0.2°/s
---------
±0.25°/s

0.15, 0.2 (°/srms)
―――――――――
0.2, 0.15 (°/srms)

<0.12°/hr

60mA

33.5 x 47x 25.4

Case unsealed

Analogue

Read More

Download Datasheet

CRH02
(OEM)

±25,±100 (°/s)
―――――――
±200,±400 (°/s)

±0.2°/s
---------
±0.25°/s

0.15, 0.2 (°/srms)
―――――――――
0.2, 0.15 (°/srms)

<0.12°/hr

60mA

29.0 x 29.0x 18.98

PCB unpackeged

Analogue

Read More

Download Datasheet

CRM

±75°/s to ±2700°/s

±6mV
---------
±36°/s

< 0.025 °/s √Hz
--------
< 0.1 °/s √Hz

12°/hr
-------
80 °/hr

4mA

5.7 x 4.8 x 1.2 or 6.3 x 2.7 x 5.5

SMD , flat, orthogonal

Analogue, Digital SPI®

Read More

Download Datasheet

CRS03

±100°/s

< ±3°/s

0.025 °/s rms

3.5°/hr

25mA

29 x 29 x 18.2

Case Unsealed

Analogue

Read More

Download Datasheet

CRS09

±100 °/s
--------
±200 °/s

±3 °/s, ±1 °/s
--------
±3 °/s, ±1 °/s

0.03 °/s rms

3°/hr

< 100mA

63 x 63 x 19

Case unsealed

Analogue

Read More

Download Datasheet

CRS39

±25°/s

±500°/hr

> 0.05°/sec rms

0.1°/hr

80mA

75 x 24.5 x 17.9

PCB unpackaged

Analogue

Read More

Download Datasheet

SiRRS01

±50°/s to ±1,500°/s

< ±3°/s

0.30°/s to 0.55°/s

3°/hr

< 50 mA

31.8 x 31.8 x 17.3

Case sealed

Analogue

Read More

Download Datasheet

Dynamic Range

Bias Variation with Temp

In-Band Quiescent Noise

Bias Instability

Current Consumption

Dimensions (mm)

Mounting Options

Interface

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

25°/s to 400°/s

Bias Variation With Temp

±0.2°/s to ±0.25°/s

Bias Instability

0.15°/SRMS to 0.2°/SRMS

In-Band Quiescent Noise

<0.12°/hr

Bandwidth (Gain -3dB)

50Hz to 100Hz

Operating Temp

-40°C to +85°C

Current Consumption

60mA

Dimension (mm)

35 x 35 x 25 to 38 x 35 x 25

Mounting Options

Case unsealed

Interface

Analogue

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

25°/s to 400°/s

Bias Variation With Temp

±0.2°/s to ±0.25°/s

Bias Instability

0.15°/SRMS to 0.2°/SRMS

In-Band Quiescent Noise

<0.12°/hr

Bandwidth (Gain -3dB)

50Hz to 100Hz

Operating Temp

-40°C to +85°C

Current Consumption

60mA

Dimension (mm)

29 x 29 x 18.5

Mounting Options

PCB unpackaged

Interface

Analogue

Supply voltage (Vdd)

3.3V

Dynamic Range

±75°/s to ±2700°/s

Bias Variation With Temp

±3°/s

Bias Instability

24°/hr to 40°/hr

In-Band Quiescent Noise

< 0.18°/s (100Hz)

Bandwidth (Gain -3dB)

5 -160 Hz (User Selectable)

Operating Temp

-40°C to +85°C

Current Consumption

4mA

Dimension (mm)

5.7 x 4.8 x 1.2 to 6.3 x 2.7 x 5.5

Mounting Options

SMD , flat, orthogonal

Interface

Analogue, Digital SPI®

Supply voltage (Vdd)

3.3V

Dynamic Range

±150°/s or ±300°/s

Bias Variation With Temp

±2.75°/s

Bias Instability

12°/hr

In-Band Quiescent Noise

0.1°/s(45Hz)

Bandwidth (Gain -3dB)

40Hz to 110Hz

Operating Temp

-40°C to +125°C

Current Consumption

8 mA

Dimension (mm)

10.4 x 6.0 x 2.2 or 10.4 x 6.7 x 2.7

Mounting Options

SMD , flat, orthogonal

Interface

Digital SPI®

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

±100°/s

Bias Variation With Temp

< ±3°/s

Bias Instability

3.5°/hr

In-Band Quiescent Noise

0.025°/sec

Bandwidth (Gain -3dB)

>10Hz to >55Hz

Operating Temp

-40°C to +85°C

Current Consumption

35mA

Dimension (mm)

29 x 29 x 18.4

Mounting Options

Case Unsealed

Interface

Analogue

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

±100°/s to ±200°/s

Bias Variation With Temp

< ±1°/s to < ±3°/s

Bias Instability

3°/hr

In-Band Quiescent Noise

0.03°/sec

Bandwidth (Gain -3dB)

55Hz

Operating Temp

?20°C to +85°C

Current Consumption

100mA

Dimension (mm)

63 x 63 x 19

Mounting Options

Case unsealed

Interface

Analogue

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

±25°/s

Bias Variation With Temp

±0.08°/s

Bias Instability

0.08°/hr

In-Band Quiescent Noise

0.015°/sec

Bandwidth (Gain -3dB)

25Hz

Operating Temp

-10°C to +110°C

Current Consumption

80mA

Dimension (mm)

75 x 24.5 x 19

Mounting Options

PCB unpackaged

Interface

Analogue

Supply voltage (Vdd)

5V

Dynamic Range

±50°/s to ±1,500°/s

Bias Variation With Temp

< ±3°/s

Bias Instability

3°/hr

In-Band Quiescent Noise

0.30°/sec to 0.55°/sec

Bandwidth (Gain -3dB)

>50Hz to >60Hz

Operating Temp

-40°C to +75°C

Current Consumption

< 50 mA

Dimension (mm)

31.8 x 31.8 x 17.3

Mounting Options

Case sealed

Interface

Analogue