ガラスウエハエッチング加工サービス
シリコンセンシングは、ウェットエッチングでは困難なガラスウエハの垂直微細パターニング加工を、ドライエッチングにより実現します。
仕様 |
加工対象 |
石英、テンパックス、パイレックス等 |
加工ウエハサイズ |
4~6インチ |
エッチング深さ |
1um以上 |
L/S |
3um |
エッチング形状 |
垂直形状(80°以上) |
※形状については、ご使用になられるガラス仕様によって異なります。
*当サイトでは「ファンドリ」「ファウンドリ」「ファンダリ」「ファウンダリ」等のあいまい表現を避けるため、表記を「ファンドリ」に統一しております。