シリコンセンシングが提供するファンドリサービスの中でPZT成膜やSiエッチング加工についてご紹介します。

ガラスウエハエッチング加工サービス

シリコンセンシングは、ウェットエッチングでは困難なガラスウエハの垂直微細パターニング加工を、ドライエッチングにより実現します。

仕様 加工対象 石英、テンパックス、パイレックス等
加工ウエハサイズ 4~6インチ
エッチング深さ 1um以上
L/S 3um
エッチング形状 垂直形状(80°以上)
※形状については、ご使用になられるガラス仕様によって異なります。
*当サイトでは「ファンドリ」「ファウンドリ」「ファンダリ」「ファウンダリ」等のあいまい表現を避けるため、表記を「ファンドリ」に統一しております。